индукциясы бар mocvd реакторын қыздыру
Индукциялық қыздыру Металорганикалық химиялық буларды тұндыру (MOCVD) реакторлары - бұл қыздыру тиімділігін арттыруға және газ кірісімен зиянды магниттік байланыстарды азайтуға бағытталған технология. Кәдімгі индукциялық қыздыру MOCVD реакторларында жиі камераның сыртында орналасқан индукциялық катушкалар болады, бұл төмен тиімді қыздыруға және газ жеткізу жүйесіне ықтимал магниттік кедергіге әкелуі мүмкін. Соңғы… Ары қарай оқу